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Savillex在半导体的应用上很棒棒
  • 发布日期:2022-04-11      浏览次数:90
    •       氟聚合物作为半导体制造业可容纳和运输制造过程中使用的高纯度化学品的材料,可实现半导体制造需要的极高稳定性和纯度,近几年随着半导体行业的极速扩张,氟聚合物制品在半导体行业的需求量也呈现井喷模式。
      通常使用的两种特殊类型氟聚合物:聚四氟乙烯(PTFE)和可溶性聚四氟乙烯(PFA)。
      由于PFA的分子结构允许熔融加工,可通过注塑成型等传统的单一工序工艺进行制造,使得PFA制品的表面粗糙度几乎无法测量,且成品不需要进行任何后道加工,杜绝引入污染。因此PFA比PTFE更能为半导体工艺化学品提供安全保障,更适用于半导体行业。
            Savillex的PFA系列商品种类丰富,质量稳定可靠,被各半导体制造及其支撑业企业选用,应用于半导体制程的各个环节,是高品质的保障。


      美国Savillex:开发优秀的氟聚合物产品——无论在哪个应用领域


              美国Savillex自1976年成立以来,46年来目标始终如一:开发优质的氟聚合物产品——无论在哪个应用领域。


      应用——制备高纯强酸(HF,HCL,HNO3)用于湿法蚀刻工序及硅片生产工艺、半导体制程高纯化学品、各环节半成品及成品产品质量检测。                          
      产品——Savillex DST系列酸纯化器/亚沸蒸馏器            

      型号——DST-1000 & DST-4000

      特点——半导体硅片是半导体制造的核心材料,                            
      它的生产加工涉及精密抛光、研磨、蚀刻、清洗等工序,
      这个过程中需要用到一些高纯度化学品,比如氢氟酸(HF)、氯化氢(HCI)等强酸,使用Savillex的DST酸纯化器进行酸提纯是一种极其简单和经济的制备高纯度酸的方法。使用DST-1000对微量金属(1ppb)级原酸进行提纯可以在12小时内制备约500ml高纯HNO3、HCL或HF,而容量更高的半自动化DST-4000可以在同一时间内制备出约2倍的量。在短短几个月基至几周内即可收回购置成本。购买市售高纯(10ppt)酸不仅价格昂贵,而且一旦开始使用,反复打开的过程中极易造成污染。因此使用DST系列酸化器自制高纯酸在得到质量更可靠的高纯酸的同时,还能为企业节约大量成本。

      应用——VPD直连试剂瓶,各类高纯化学试剂长期储存
      产品——Savillex 150 Purillex系列PFA高纯试剂瓶/储液瓶
      规格——50ml、100ml、250ml、500ml、1000ml、2000ml
      特点——Savillex 150 Purillex PFA高纯试剂瓶由拉伸吹塑工艺制造,极低的微量金属背景,表面无任何毛刺,无死
      角,易于倾倒,最后一滴试剂都不浪费;完整的2.5转螺纹及防滴漏瓶唇设计使其无需内盖即能确保长期密封完整性,可长期储存各类高纯试剂。除50ml规格的为33mm直径螺纹盖,100-2000ml均为GL45标准螺纹口,可与VPD直连,可与各类分液器连用。每个试剂瓶出厂配备一个标准的GL45螺纹盖,通过选配不同的转换盖即可将试剂瓶集成在不同管路中。
                                                 

      应用——VPD-ICP-MSICP-QMS样品引入,半导体制程各类化学品、半成品(如:三氯硅烷、磷酸、高纯硅样品、过氧化氢、硝酸、盐酸、硫酸、太阳能级硅块、高硅基质样品等)及硅片杂质检测

      产品——PFA雾化器,PFA雾室,PFA惰性套件,PFA自动进样器小瓶
      适用品牌——Agilent、ESI、CETEC、PE、Nu……
      特点——Savillex PFA 自吸式雾化器采用独特的两件式设计,高灵敏度,可反吹设计有效防止堵塞,延长使用寿命。PFA C-Flow同心雾化器流量从35ul/min至700ul/min,可用于半导体使用的任何惰性套件,不仅与Savillex的PFA雾室联合,还可与其它品牌的石英雾室联用。流量为50ul/min的Savillex PFA雾化器尤其适用于高硅基质样品(如VPD-ICP-MS应用)和磷酸。Savillex PFA系列进样产品可与多个设备连用。尤其是Agilent PFA雾化器及惰性套件的替代。Savillex PFA自动进样器小瓶从200ul至30ml,PE、Varian、I-AS、CETAC、ESI多品牌多型号自动进样器用PFA小瓶,均有不同型号可替代。Savillex PFA系列进样系统是用户性价比方面的planA

                                   

      应用——超高纯气液化流体输送,耐腐蚀管路集成
      产品——PFA阀门,PFA接头,PFA三通,PFA&FEP直管&软管,PFA洗气瓶(撞击滤尘器),PFA滤器,PTFE滤膜,PFA螺母螺帽
      特点——耐腐蚀,各种流体均适用,适用于半导体生产各环节生产工序的管路集成。材质高纯、品类繁多,尺寸规格符合国际标准,适用范围广。PFA滤器结构简单,操作便捷,集成在输送管路中,可进一步净化各类高腐蚀性气液化流体,并可在线更换滤膜,极大提高生产效率。

                                               

      应用——泛半导体制造业各工序均可使用
      产品——实验室PFA常用工具:Savillex PFA洗瓶,PFA微柱/层析柱,PFA烧杯,PFA夹子,PFA滴瓶,PFA大盆,PFA清洗罐,PFA密封罐,PFA注射器
      特点——应用广泛,材质高纯、设计精良、耐腐蚀,提高半导体制造各个工序检测质量
       
                 


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