PFA(全氟烷氧基树脂)雾化器是一种以耐化学腐蚀、耐高温和低吸附性为核心特性的高性能雾化设备，广泛应用于电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)、电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)等痕量分析领域，尤其适合强酸、强碱及有机溶剂的雾化需求。
 

　　一、核心特性
 

　　耐化学腐蚀性
 

　　PFA材质对盐酸、硝酸、氢氟酸(HF)等强酸及强碱、有机溶剂具有优异耐受性，可长期稳定输送高纯度化学品，避免腐蚀导致的性能衰减或数据失真。例如，美国Savillex PFA雾化器明确标注可用于HF雾化，且提供多种型号适配Agilent、CETAC、ESI等品牌ICP-MS及自动进样系统。
 

　　耐高温性
 

　　工作温度范围覆盖-80°C至+260°C，支持CVD/PVD等高温工艺，同时满足低温环境(如-40°C至+55°C)下的稳定运行需求。
 

　　低吸附性与高精度
 

　　PFA材质表面光滑，减少样品残留，保障检测精度。例如，PerkinElmer N0777720 PFA微流量雾化器在地下水砷元素痕量检测中，检出限低至0.1 ppb；半导体厂商在晶圆清洗工艺中输送超纯氢氟酸时，可连续运行>2000小时无腐蚀。
 

　　微流量设计
 

　　样品提取速率低至0.05–0.6 mL/min(如PerkinElmer型号)或20-200 μL/min(如安捷伦自吸式PFA雾化器)，适合痕量分析，同时通过极小颗粒气溶胶生成提升信号稳定性(雾化效率>98%)。
 

　　模块化与兼容性
 

　　集成EzyLok接头、集成毛细管及可选自动进样器探针，适配PerkinElmer全系ICP及第三方设备(如Thermo Scientific、Agilent、Nu instruments等)。例如，Savillex C-Flow雾化器提供50 μL/min和200 μL/min两种流速版本，并支持泵压进样或自吸进样。